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磁控濺射鍍膜常見故障及解決辦法

發布時間:12-21  
磁控濺射是物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition,PVD)的一種,磁控濺射通過在靶陰極表面引入磁場,利用磁場對帶電粒子的約束來提高等離子體密度以增加濺射率。

磁控濺射鍍膜工藝在日常操作過程中有哪些常見的故障呢?


磁控濺射鍍膜常見故障及解決辦法


1.無法起輝


(1)直流電源故障,檢查直流電源;


(2)氬氣進氣量小,檢查氬氣流量計或加大氬氣進氣量;


(3)真空室清潔度不夠,清潔真空室;


(4)靶材絕緣度不夠,檢查靶是否與地短路,在通水的情況下,對地電阻應該在 50kΩ以上;


(5)磁場強度不夠,檢查永磁體是否消磁;


(6)真空度太差,檢查真空系統。


2.輝光不穩


(1)電壓電流不穩,檢查電源;


(2)真空室壓力不穩,檢查氬氣進氣量及真空系統;


(3)電纜故障,檢查電纜是否連接良好。


3.成膜質量差


(1)基片表面清潔度差,清潔基片表面;


(2)真空室清潔度差,清潔真空室;


(3)基片溫度過大或過小,檢查溫控系統,校準熱電偶;


(4)真空室壓力過大,檢查真空系統;


(5)濺射功率設置不當,檢查直流電源,設置何事的設定功率。


4.濺射速率低


(1)氬氣進氣量過大或過小,觀察輝光顏色可以判定氬氣是過大還是過小,據此調整氬氣進氣量;檢修流量計;


(2)靶材過熱,檢查冷卻水流量;


(3)檢查永磁體是否消磁。
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